威尼斯半导体行业专用旋转接头

威尼斯公司的半导体行业专用旋转接头又叫水/气滑环接头，在半导体工业、化学机械抛光机CMP、晶圆等制造领域广泛应用；用于输送研磨液、水、冷却液、研磨残渣液、压缩空气等流体。采用特种材质的机械密封方案，具有密封性好、寿命长、扭矩低、发热量低、耐粉尘残渣等特点，确保客户主机可靠性高，减少检修频次。

两通路旋转接头

型号：ML02R008F

参数：

转速：250rpm

介质：水 ，0.5MPa

扭矩：＜2N·m

温升：30℃

流量：暂定

8通路旋转接头

型号：ML08R003F

参数：转速：200rpm

介质：真空 ，0.5bar

氮气 ，1.4bar

空气 ，1.4bar

扭矩：＜3N·m

温升：30℃

泄漏量：＜1KPa/min